CTM

Centrale de Technologie

en Micro et nanoélectronique

Salle blanche et microscopie en champ proche,
plateforme technologique de l'Université de Montpellier

Plus d'informations

Informations

La Centrale de Technologie en Micro et nanoélectronique de l’Université Montpellier a été créée en Novembre 2002 à partir du regroupement de l’Atelier de TEchnologie MIcro et submicroélectronique (ATEMI) et du Laboratoire de Microscopie en Champ Proche (LMCP). Elle est labellisée par le ministère de la recherche comme centrale de proximité et à ce titre bénéficie du soutien financier de l’état et de la région Languedoc-Roussillon. Elle développe ses potentialités technologiques dans le domaine de la microélectronique et des nanosciences. Elle constitue ainsi un ensemble cohérent et original, par la présence de nouvelles méthodes de nanocaractérisations et par l'utilisation de technologies spécifiques mises en jeu dans de nombreux dispositifs micro et nanoélectroniques.


Missions

La centrale a pour vocation :
- La réalisation de composants électroniques, opto-électroniques et de nanostructures,
- La caractérisation à l’échelle nanométrique de matériaux et de structures par des méthodes de microscopie à champ proche.
- Le développement de l'enseignement et de la formation aux micro et nano technologies et aux methodes de nano caractérisation


Infrastructures

400 m² de salle blanche en classe ISO 7.
7 hottes en classe Iso5.
100 m² salle grise.

Moyens humains:
1 Ingénieur de recherche, M.Ramonda, Responsable champ proche.
1 Ingénieur d'Etudes, F.Pichot, responsable salle blanche.
1 Ingénieur d'études, J. Lyonnet.
1 Technicien, J.M. Peiris.
1 Directeur, A. Giani.
Organigramme :

Mode d'accueil

Ouverture à tout public universitaire (recherche, enseignement en milieu socio-économique et industriel) et accueil de 200 personnes / an correspondant à 30 équipes de recherche.
>> Procédure à suivre : prendre contact avec le directeur ou les personnels techniques directement.
>> Mode de fonctionnement : prestation de service et/ou développement de projet de recherche.
Utilisateurs : Le nombre de personnes accueillies en moyenne par an sur 4 ans est d'environ 200 personnes correspondant à 30 équipes de recherche


Visite





Financements

CNRS

Université Montpellier

Région LRMP

Ministère de la recherche

Union Européenne

FEDER

Equipement et prestations en salle blanche

Dépots couche mince

Evaporation, Canon à électrons, Pulvérisation cathodique, PECVD. Or,Titane, Platine, Aluminium, oxydes et nitrures…

Gravure Plasma

Machines de gravure plasma ICP RIE, gaz fluorés et chlorés

Lithographie optique

Salle de lithographie comprenant trois hottes de spincoating et trois aligneurs dont un double face

Metrologie

Profilomètre optique Fogale, profilometre DEKTAK, Ellipsomètre, mesures électriques 4 pointes.




Microscopie en champ proche

AFM

Microscopes à force atomique: Dimension 5 Nanoscope V, Dimension 3100 Nanoscope IIIA quadrex controller

Surface analysis

Lateral Force Microscopy, Conductive AFM, Piezoresponse Force Microscopy, Electric Force,Surface Potential, Kelvin Force microscopy

Nano Manipulation

Displacement of atoms, molecules and nanostructures, Nanolithography, nano-oxidation

Contact

Téléphone Salle blanche : 04 67 14 32 34

Alain Giani Responsable CTM alain.giani(at)umontpellier.fr 046714 3713
Fréderic Pichot Ingénieur Salle blanche frederic.pichot(at)umontpellier.fr 046714 4869
Michel Ramonda Responsable Champ proche michel.ramonda(at)umontpellier.fr 046714 4919
Jean Lyonnet Ingénieur d'études jean.lyonnet(at)umontpellier.fr 046714 4884
Jean Marie Peiris Technicien jean-marie.peiris(at)umontpellier.fr 046714 3233
Sophie Tauleigne Ecuyère sophie.tauleigne(at)umontpellier.fr 046714 3233

Adresse

CTM, Université Montpellier
Campus de St Priest
860 rue de Saint Priest, Bâtiment 5
34097 Montpellier, France



Notices techniques à telecharger



Exemples de réalisations Dépôts en couche mince Gravure Plasma Techniques de lithographie Microscopie électronique Cablage et microsoudure


Règlement intérieur